मैग्नेट्रॉन स्पुतरिंग (अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सहित)

मैग्नेट्रॉन स्पुतरिंग (अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सहित)

स्पुतरिंग एक बहुमुखी भौतिक भाप निक्षेपण प्रक्रिया है जिससे विभिन्न धातु, ऑक्साइड, नाइट्राइड और कार्बाइड कोटिंग की संविरचना की जाती है। एसईडी में, विभिन्न प्रकार के स्पुतरिंग सिस्टम जैसे ल्‍पानर मैग्नेट्रोन, विभिन्‍न कैथोड आयामों के संतुलित और असंतुलित मेगनेट्रॉन स्पुतरिंग का आंतरिक विकास किया गया। स्पुतरिंग डीसी, स्पंदित डीसी, आरएफ और एचआईपीआईएमएस पावर सप्लाई के प्रयोग से किया जाता है।

चार कैथोड प्रतिक्रियाशील असंतुलित मैग्नेट्रॉन स्पुतरिंग

यह एनएएल द्वारा तैयार किया गया एक अर्ध-औद्योगिक स्केल स्पुतरिंग सिस्टम है, जिसका अभिकल्‍प 6"x6"x6" के नमूना आकारों पर पीवीडी कोटिंग के निक्षेपण हेतु किया गया है।

संतुलित और असंतुलित मैग्नेट्रॉन स्पुतरिंग

काफमैन आयन स्रोत के साथ प्रयोगशाला स्केल प्लानर मैग्नेट्रोन स्पुतरिंग सिस्टम और असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पुतरिंग सिस्टम (एफ=3") को नैनोस्केल बहुपरत कोटिंग और नैनोकांपोसिट कोटिंग के निर्माण के लिए स्वदेशी रूप से विकसित किया गया है।

अनुसंधान एवं विकास तथा प्रोटोटाइप विकास हेतु यूएचवी स्पुतरिंग सिस्टम

आंतरिक रूप से विकसित सिस्टम लैबव्‍यू आधारित नियंत्रण प्रणाली के साथ अर्ध स्वचालित है। सिस्‍टम में 2 यूएचवी उपयुक्‍त कक्ष हैं। प्रत्येक कक्ष लोड लॉक सुविधा के साथ चार 3 इंच स्पुतरिंग स्रोतों सुसज्जित है। सिस्टम द्वारा पतली फिल्मों, स्पिंट्रोनिक्स और एमईएमएस अनुप्रयोगों के लिए बहुपरत पतली फिल्मों के रूप में प्रसंस्करण कर सकते हैं।

यूएचवी संगत औद्योगिक स्पुतरिंग सिस्टम

यूएचवी उपयुक्‍त औद्योगिक स्पुतरिंग सिस्टम का प्रयोग चुंबकीय संवेदन उपकरणों के छोटे पैमाने बैच के उत्पादन के लिए किया जाता है। स्पिंट्रॉनिक्स और एमईएमएस अनुप्रयोगों के लिए अल्ट्रा-थिन ( 1एनएम से कम) बहुपरत फिल्मों के निक्षेपण हेतु पूरी तरह से स्वचालित प्रणाली आठ, 2-इंच स्पुतरिंग गन से सुसज्जित है। ±1.5% की एकरूप मोटाई 4 इंच के वेफर पर प्राप्त की जा सकती है।

Make: Mantis (QPREP 500 series)