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3डी प्रोफिलोमीटर
खुरदरापन, स्थलाकृति और समतलता जैसी सतह विशिष्टताओं का अध्ययन करने के लिए एक 3 डी-प्रोफिलोमीटर का उपयोग किया जाता है। नैनोमैप 3 डी संपर्क प्रोफाइलर के पास फाइन और कोर्स रेंज स्कैन हैं। फाइन रेंज जांच करने के लिए पाइज़ो ड्राइव का उपयोग करता है (अधिकतम 500 माइक्रोन x 500 माइक्रोन) और उच्च वियोजन 2 डी और 3 डी छवियां देता है। छवि उत्पन्न करने के लिए कोर्स रेंज एक्स और वाई दिशाओं में नमूना केलिए स्टेज स्कैन का उपयोग (अधिकतम 50 मिमी x 50 मिमी) करता है।
मेक : एईपी प्रौद्यौगिकियॉं 500 एलएस
संपर्क स्कैनिंग मोड : स्टेज स्कैन, पीज़ो ड्राइवर मोड
विनिर्दिष्टताएं :
प्रोब रेडियस : 100 एनएम
स्कैन क्षेत्र सीमा : 100 माइक्रोन μm x 100 मसइक्रोन μm से 50 मिमी x 50 मिमी
ज़ेड कोण में अधिकतम : 5 μm (फाइन रेंज), 500 μm (उच्च रेंज)
ऊर्ध्व वियोजन : > 1 नै मी
स्टैलस लोडिंग फोर्स : 1 – 100 मि ग्रा
